ISO 14644-1标准涉及了洁净室以及相关受控环境中的空气洁净度。根据该标准，对气载分子污染物的浓度也进行了分级。对于洁净度分级是仅仅考虑0.1 µm - 5 µm之间的颗粒的累积分布。
| 每立方米的不同粒径的颗粒浓度分级 |
| | 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5 um | 1 um | 5 um |
| ISO 1 | 10 | 2 | | | | |
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | | |
| ISO 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO 7 | | | | 352000 | 83200 | 2930 |
| ISO 8 | | | | 3520000 | 832000 | 29300 |
| ISO 9 | | | | 35200000 | 8320000 | 2 |