ISO 14644


ISO 14644-1标准涉及了洁净室以及相关受控环境中的空气洁净度。根据该标准,对气载分子污染物的浓度也进行了分级。对于洁净度分级是仅仅考虑0.1 µm - 5 µm之间的颗粒的累积分布。

每立方米的不同粒径的颗粒浓度分级

  0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 1 um 5 um
ISO 1 10 2        
ISO 2 100 24 10 4    
ISO 3 1000 237 102 35 8  
ISO 4 10000 2370 1020 352 83  
ISO 5 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO 7       352000 83200 2930
ISO 8       3520000 832000 29300
ISO 9       35200000 8320000 2
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